喷漆房,生产半导体的洁净室或灌装过程中的层流流量测量

层流气体流量测量

应用参数

测量目标:
用于过程控制的流速测量

测量点:
过滤器下方的层流出口处

测量范围:
小于等于1 m/s

环境压力:
标准大气压强

环境温度:
通常+10 … +30 °C

产品优势

安全
层流流量计可确保过程气流流速稳定,24小时不间断测量!

一体化
层流流量计带一体化变送器和固定装置

可消毒
可使用过氧化氢,甲醛或酒精进行清洗

应用

层流空气在精准控制下从上往下流动。由于极低的流速,所以没有横向流动,流体分层均匀流动,互不混合。这种无漩涡的层流气体对于确保洁净室或手套箱中的气体交换是必不可少的,层流气体中灰尘颗粒不会旋转上升。洁净室中的空调气流流速通常需调整到很小的层流流速。此外手套箱、喷漆房和建筑物通风设施中都需要层流气体。现如今层流气体可确保工作场合持续输入干净空气,免受Corona病毒的侵害。在制药和生物技术领域,洁净室对于实现生产过程的环境可控性和重复性是必不可少的。同样手术室中也需要层流空调系统保持无菌环境。电子产品的生产,尤其是晶片的生产,也需要可重复使用的洁净室条件。

从基础研究到材料研究的许多实验室和一些特殊的包装生产线也需要洁净室环境。这些应用都可使用Höntzsch流量计来监控所使用的空调系统。

 

产品型号

层流流量测量在苛刻工况应用中必不可少

层流流量的精准测量可确保设备中各个过程稳定运行。测量点必须持续监控流速,以获得所需的结果。在洁净室,层流气流的进入区域还可安装可辩向叶轮风速仪,以监控流向。

所有需要层流测量的场合都要求最高水平的可靠性和准确性。

喷漆房中的层流流量测量

在喷漆过程中,涂料颗粒有时候会没有喷到产品表面,散发到空气中。为了使喷漆房像洁净室一样保持干净,需要将漆雾(overspray)从上往下用层流空气推送,收集后处理。这个向下沉降的流速需要控制在一定范围内。速度过低则无法将所有漆雾收集沉降,过高会引起小漩涡使颗粒飘散。

 

半导体行业中的层流流量测量

在半导体生产中,高洁净度环境是制造高质量晶圆和电路板的基础。持续不断地排出废气吸入干净空气,才能确保洁净度。空气被鼓风机吹送后通过高效过滤器(HEPA),送往生产区域。测量点位于风机滤器单元(Fan Filter Unit)下方,此层流气流速度需要限定在很狭小的范围内。

 

手套箱中的层流流量测量(Gloveboxes)

手套箱是与周边环境隔绝的密闭容器。操作员可使用装置上的手套在箱子中进行操作。手套箱中的层流气流可阻止悬浮颗粒进入箱中,同时也可去除操作过程中产生的悬浮颗粒。
 

高品质和安全性

Höntzsch的TA10C热式质量流量计符合GMP(良好生产规范Good Manufacturing Practice)要求,可以使用过氧化氢、甲醛和酒精进行消毒。它们也可加装防爆功能,Category 3G + 3D等级。因此Höntzsch层流流量计非常适合安装在洁净室或手套箱中,用于工业、医疗、制药和生物技术领域。

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